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專利號:200810124267
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用于晶圓切割的紫外激光加工設備的設計方法
用于晶圓切割的紫外激光加工設備的設計方法
專利號:
200810124267
申請日:
2008年7月7日
公開/公告日:
2008年12月10日
授權公告日:
申請人/專利權人:
蘇州德龍激光有限公司、江陰德飛激光設備有限公司
國家/省市:
江蘇(32)
郵編:
215021
發明/設計人:
趙裕興、徐海賓
代理人:
陳忠輝 姚姣陽
專利代理機構:
江蘇省專利事務所(32102)
專利代理機構地址:
江蘇省南京市廣州路37號江蘇科技大廈25層(210008)
專利類型:
發明
公開號:
101318264
公告日:
授權日:
公告號:
000000000
優先權:
審批歷史:
附圖數:
2
頁數:
8
權利要求項數:
3
請進入中國專利檢索數據庫核實
對該專利感興趣:
姓名
電話/郵箱（不顯示）
專利分類
:·
生活及醫學
·
作業及運輸
·
化學及冶金
·
紡織及造紙
·
建筑及采礦
·
機械及工程
·
物理及測量
·
電子及通訊
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